变压器油真空滤油机集精密过滤与高效脱水、脱气于一体。过滤后的油液中颗粒杂质滤除程度以ＮＡＳ级表示，脱水、脱气主要是利用油的饱和蒸汽压远低于水和其他气体的饱和蒸汽压。在一定的温度和真空度下，使油中所含的水分、气体汽化，经过真空泵排出，要使蒸发过程得以维持，还必须具备以下两个条件：

①不断排出由水分蒸发所生成的水蒸气。也就是要使系统维持一定的真空度。

②必须对变压器油实行一定的预加热。以保持油温在某一固定值。

目前国内的真空滤油设备以单级和二级真空为主。虽也有三级真空的产品，但其工作真空度都是按１３３Ｐａ设计定位的。因而真空获得设备的配置不合理。远不能适应超高压设备变压器油高指标运行要求。更何况真空目标值１３３Ｐａ的测试点是定位在滤油机自身的真空分离室上，当把真空测试点移到容积为几十立方米甚至更大的大型主变压器本体上时。真空度就根本无法达到使用的技术要求。